金属功能材料
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  2018, Vol. 25 Issue (6): 1-9    DOI: 10. 13228/j. boyuan. issn1005- 8192. 2018073
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多孔过渡金属化合物纳米材料研究进展
段嗣斌1,成明2,王荣明1
1. 北京科技大学数理学院,北京 100083
2. 中芯国际集成电路制造北京有限公司,北京100176
Research progress on porous transition metalcompounds- based nanomaterials
DUAN Si- bin1,CHENG Ming2,WANG Rong- ming1
1. School of Mathematics and Physics, University of Science and Technology Beijing, Beijing 100083, China
2. SMIC Integrated Circuit Manufacturing Beijing Co. Ltd., Beijing 100176, China
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